仪器生产商：北京中聚高科科技有限公司

资产编号：1817177S

资产负责人：邓承浩

购置日期：2018-12-24

仪器价格：762580 元

仪器产地：中国

分类号：A02100403

出厂日期：2018-12-24

主要规格及技术指标：

1、电学分析系统
01）双源表配置，支持双通道测试，四线或两线测量
02）电流范围：100 pA~200 mA；电阻测量范围：1Ω~10GΩ；电压范围：±200 mV~±10 V
03）电学特性转换为传感器信号，气体传感器测量和标定，温度传感器测量和标定
04）测试模式： I-t，R-t，V-t，I-V，V-I等
05）SMA接口，SMA转BNC测试线，控温的同时可进行电学信号测试
06）试用范围：材料研究，半导体器件分析（传感器、晶体管、二极管、功率半导体、LED等），电子电路测量等应用
2、原位池主要参数
01）控温范围：室温~500℃，含水冷快速接头，上下一体水冷
02）两路反应气接口和一路真空接口，可通过卡套、快插与配气系统及真空泵相连接
03）探针座及夹具：4套
04）BNC接头：4个；支持双通道测试
05）腔室体积：约100mL
06）石英窗口，直径约30mm
07）腔室体积：约150mm*150mm*40mm
3、静态配气模块
01）体积约1L，与小腔体配合使用，支持静态配气
02）配置液体蒸发器，温度：室温~250oC
03）内置风扇

主要功能及特色：

本设备适用于毫米级别材料或器件（传感器、探测器、晶体管等）的原位测试及综合特性分析。平台通过一体化的电学、探针、微腔体、静态配气设计，可提供精准的电学检测、灵活的探针连接、精准的温度调节、便捷的气氛控制；集成双源表测试系统，支持两线或四线测试，支持双通道测试；平台的微小腔体结构特别适合连接湿度可控的气液配气系统，在实现腔室内的气氛浓度及湿度的快速更替与平衡的同时，用于气敏、湿敏等性能的在线检测。

主要附件及配置：

1）搭配气液配气系统；2）测试需要自备相关液体（加热气化后测试）