仪器生产商：深圳市科晶智达科技有限公司

资产编号：2104822S

资产负责人：邓承浩

购置日期：2021-11-03

仪器价格：131000 元

仪器产地：中国

分类号：A02100699

出厂日期：2021-11-03

主要规格及技术指标：

1） 腔体尺寸及材质：8.5" O.D x 8.2" I.D x 14.4" L 高纯石英腔体；
2）密封及观察窗：铝制折叠式法兰真空密封，法兰上有直径为60mm的观察窗口；
3）射频辐射屏蔽：完全屏蔽射频辐射，零射频泄漏；
4）射频电源功率：0-500W连续可调；
5）射频电源频率：13.56MHz；
6）过程控制：6" 彩色触摸屏，可控制射频功率、真空泵的开启、清洗时间和气体流量等；
7）气体流量控制：仪器内部安装有0 ~100mL/min质量流量计，可精确地控制进气流量；
8）真空泵： VRD-16双极真空泵， (抽速≥4L/S)；
9）气体选择：可通入多种气体产生等离子，如N2, Ar, Air，H2、O2和混合气体等等。

主要功能及特色：

本设备可应用于：1．等离子表面活化/清洗；2.等离子处理后粘合;3.等离子蚀刻/活化;4. 等离子去胶;5. 等离子涂镀(亲水,疏水);6. 增强邦定性；7.等离子涂覆； 8.等离子灰化和表面改性等场合。通过其处理，能够改善材料表面的浸润能力，使多种材料能够进行涂覆、镀等操作，增强粘合力、键合力，同时去除有机污染物。

主要附件及配置：

无