主要规格及技术指标:
1)支持五种配气功能:气体配气、液体配气、湿度控制、气体+湿度、液体+湿度
2)气路通道包括1路背景气体、2路目标气体和1路目标液体;2路湿气气路(干气和湿气)
背景气路:满量程1 slm,控制范围2%~100%(20 sccm~1000 sccm);
目标气路1:满量程100 sccm,控制范围2%~100%(2~100 sccm);
目标气路2:满量程2或5 sccm,控制范围2%~100%(0.04~2sccm或0.1~5 sccm);
*目标气路3:液体气路,1.26 pL/min,液体蒸发控温范围:室温~250 °C
*湿气气路1:满量程1 slm,控制范围2%~100%(20 sccm~1000 sccm);
*湿气气路2:满量程1 slm,控制范围2%~100%(20 sccm~1000 sccm)。
*3)全自动配气,可程序式设定配气流程,支持两种控制模式。
浓度模式:程序设定配气流程,如设定好气源、液源、湿度信息,配气的流速、浓度、时间、循环等信息,系统即可自动进行配气
流量模式:单独设定各气路的流量、目标湿度进行配气
*4)湿度控制:范围2%RH~90%RH,精度优于±1%RH,稳定度±1%RH(RT标定)
*5)稀释比例:气体最大比例10000:1(氮气),液体最大可稀释至10 ppb(乙醇)
6)全金属密封,耐各类强腐蚀性气体(如硫化氢)以及各类易挥发性液体(如甲醛溶液)
*7)配置传感器测量模块:配置传感器测试模块,测试通道数:8路,完全独立;加热电流:DC 0~400 mA连续可调,8路单独控制,精度1 mA;测量范围:1Ω ~100 MΩ,全自动测量无需换挡;测量精度:±1 Ω,±读数的2%