主要规格及技术指标:
1.可去除样品(如用于背散射BSE等各类电镜观测的样品)制备过程中表面遗留的杂质干扰,显著提高微观样品成像和成分分析的质量;主要功能及特色:
1.可去除样品(如用于背散射BSE等各类电镜观测的样品)制备过程中表面遗留的杂质干扰,显著提高微观样品成像和成分分析的质量;主要附件及配置:
离子枪至少具备能量从2k~16keV、最大离子束电流密度100mA/cm2、离子束电流150 uA及离子束直径为300~600 um ( FWHM), 并且对于c-Si样品在16keV, 30°入射角度时具备有560um/h 的样品减薄能力;| 公告名称 | 公告内容 | 发布日期 |
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| 服务态度 | ☆☆☆☆☆ |
| 服务质量 | ☆☆☆☆☆ |
| 检测性能 | ☆☆☆☆☆ |
| 技术能力 | ☆☆☆☆☆ |
| 准确性 | ☆☆☆☆☆ |