X射线光电子能谱仪详细信息
仪器生产商 Thermo Fisher Scientific公司
资产编号 1706319S
资产负责人 潘俊衡
购置日期 2017-11-07
仪器价格 5191000  元
仪器产地 美国
分类号 03030708
出厂日期 2017-11-07
主要规格及技术指标 "全扫范围:0-1400ev
X-ray
类型:单色化Al靶X射线源
光斑尺寸: 200 至 900 μm(常规使用500 μm)
能量分辨率:0.45eV/(Ag 3d5/2)0.82eV/(C 1s)
最小分析区域:20 μm
灵敏度:1*106 cps
分析器:半球型能量分析器
分析腔室真空:小于5*10-10 mbar
样品处理室:小于7.0×10-9 mbar"
主要功能及特色 常规XPS、UPS、角分辨、表面清洁、深度剖析、价带谱、XPS成像
主要附件及配置 中和枪、紫外枪、双阳极