深度光刻机详细信息
仪器生产商
中国科学院光电技术研究所
资产编号
1815584S
资产负责人
刘瑶
购置日期
2018-12-21
仪器价格
400000 元
仪器产地
分类号
出厂日期
2018-12-21
主要规格及技术指标
无
主要功能及特色
无
主要附件及配置
无