| 仪器生产商 | KurtJ.LeskerCompany |
| 资产编号 | 2006574S |
| 资产负责人 | 陈平 |
| 购置日期 | 2020-11-27 |
| 仪器价格 | 1549000 元 |
| 仪器产地 | 美国 |
| 分类号 | 03060301 |
| 出厂日期 | 2020-11-27 |
| 主要规格及技术指标 | 全封闭框架结构，外形整洁美观，适用于洁净间,优于5X10-7torr,6英寸，兼容小基片,KL-6型电子枪，坩埚的数目4个，坩埚的容量8cc。电子枪功率5kW，采用固态电容。两组热阻蒸发源，蒸发源电极水冷。在电压为5V时可输出的最大电流不低于370A,样品台带350度加热,全自动程序控制.全系列安全互锁，4级密码保护,6英寸基片不均性优于+/-5% |
| 主要功能及特色 | 电子束蒸发薄膜沉积系统是物理气相沉积系统，该系统适用于多种材料体系薄膜的制备，如实验室中用于在衬底上生长半导体薄膜以及一些金属电极，如SiO2，ITO，Al，Ni，Ti等。 |
| 主要附件及配置 | 1、主机 1台； 2、循环冷却水冷水机 1台： 3、空压机 1台 4、计费信息：校外310元/小时，校内250元/每小时，院内150元/小时。 |