| 仪器生产商 | KurtJ.LeskerCompany |
| 资产编号 | 2006578S |
| 资产负责人 | 莫小明 |
| 购置日期 | 2020-11-27 |
| 仪器价格 | 1563000 元 |
| 仪器产地 | 美国 |
| 分类号 | |
| 出厂日期 | 2020-11-27 |
| 主要规格及技术指标 | 框架结构全封闭，外形整洁美观，适用于洁净间 本底真空 ： 优于5X10-7torr 基片尺寸 ： 6英寸，兼容小基片 靶枪配置： 3英寸靶枪3个，，非磁性材料厚度0.375英寸 靶枪电源：600W自动匹配射频电源1台,1000W直流电源1台。 样品台加热800度 控制方式 : 全自动程序控制 安全性: 全系列安全互锁，4级密码保护 镀膜均匀性: 6英寸基片不均性优于+/-5% |
| 主要功能及特色 | 磁控溅射仪是物理气相沉积系统，该系统适用于多种材料体系薄膜的制备，如实验室中用于在衬底上生长半导体薄膜以及一些金属电极，如SiO2，ITO，Al，Ni，Ti等。能够生长6英寸，以及不规则样片上进行材料沉积生长。 |
| 主要附件及配置 | 1、主机 1台； 2、循环冷却水冷水机 1台： 3、空压机 1台 4、计费信息：校外310元/小时，校内250元/每小时，院内150元/小时。 |