| 仪器生产商 | Durham Magneto Optics Ltd |
| 资产编号 | 2111453S |
| 资产负责人 | 莫小明 |
| 购置日期 | 2021-12-16 |
| 仪器价格 | 860000 元 |
| 仪器产地 | 英国 |
| 分类号 | |
| 出厂日期 | 2021-12-16 |
| 主要规格及技术指标 | 1. 采用激光直写技术，在感光层上形成精细结构； 2. * 加工区域不小于100X100 mm； 3. ▲位移台寻址精度优于500nm，位移精度优于200nm； 4. *.标准直写分辨率1.0 μm，最高直写速度优于10 mm2/min@1 μm； 5. 405nm长寿命（10000h）高功率LED光源，功率大于1W 6. 自动对焦技术，寻找样品表面功能； 7. * 占地面积小于1 m x 1m； |
| 主要功能及特色 | MicrowriterML3是一款台式激光图形发生器，可以为微流控、SAW、半导体、自旋电子学等研究领域提供方便高效的微加工方案。具有结构小巧紧凑(70X70X70cm3)，无掩模直写的灵活性，还拥有高直写速度，高分辨率的特点。采用集成化设计，全自动控制，可靠性高，操作简便。 |
| 主要附件及配置 | 1、台式激光图形发生器 一套 2、计费信息：校外190元/小时，校内150元/每小时，院内100元/小时。 |