仪器生产商：KurtJ.LeskerCompany

资产编号：2006578S

资产负责人：莫小明

购置日期：2020-11-27

仪器价格：1563000 元

仪器产地：美国

分类号：

出厂日期：2020-11-27

主要规格及技术指标：

框架结构全封闭，外形整洁美观，适用于洁净间
本底真空 ： 优于5X10-7torr
基片尺寸 ： 6英寸，兼容小基片
靶枪配置： 3英寸靶枪3个，，非磁性材料厚度0.375英寸
靶枪电源：600W自动匹配射频电源1台,1000W直流电源1台。
样品台加热800度
控制方式 : 全自动程序控制
安全性: 全系列安全互锁，4级密码保护
镀膜均匀性: 6英寸基片不均性优于+/-5%

主要功能及特色：

磁控溅射仪是物理气相沉积系统，该系统适用于多种材料体系薄膜的制备，如实验室中用于在衬底上生长半导体薄膜以及一些金属电极，如SiO2，ITO，Al，Ni，Ti等。能够生长6英寸，以及不规则样片上进行材料沉积生长。

主要附件及配置：

1、主机 1台；
2、循环冷却水冷水机 1台：
3、空压机 1台

4、计费信息：校外310元/小时，校内250元/每小时，院内150元/小时。