仪器生产商：英国雷尼绍公司

资产编号：1912620S

资产负责人：张威

购置日期：2019-11-07

仪器价格：2209050 元

仪器产地：英国

分类号：03040405

出厂日期：2019-11-07

主要规格及技术指标：

英国Renishaw inVia Reflex具有灵敏度高，分辨率好、重复性及稳定性好等特点。灵敏度高于30:1（硅三阶峰信噪比），重复性（光栅连续转动时）达到0.05 cm-1 ，光谱分辨率1cm-1，空间分辨率在XY平面<0.4微米，在Z轴方向<1.5微米。

主要功能及特色：

本显微激光共焦拉曼光谱仪主要用于各种纳米材料的测试。该系统能够在紫外到近红外的光谱范围内测量物质的拉曼光谱，应具有超高灵敏度、分辨率和重复性；共焦显微功能应保证高空间分辨率。仪器具有较高整体性和稳定性，具有较高的自动化程度，操作方便、扩展灵活。

主要附件及配置：

1.主机
1.1激光器
1.1.1.325nm激发波长，激光器功率不低于30mW
1.1.2.532nm激发波长，激光器功率不低于50mW。
1.1.3.632.8nm激发波长，激光器功率不低于17mW。
1.1.4.785nm激发波长，激光器功率不低于100mW。
1.2光谱仪
1.2.1光谱仪设计：无像散，单级光谱仪，焦距在240mm以上。
1.2.2系统总通光效率大于40%。
1.2.3高灵敏度：硅三阶峰（约在1440cm-1）的信噪比好于30:1，并能观察到四阶峰。检测条件：使用单晶硅片，波长532nm，激光到达样品功率10mW，狭缝宽度（或针孔）<=50微米，需使用1800线或更高刻线的高分辨光栅，曝光时间100秒，累加次数3次（或曝光时间60秒，累加次数5次），binning等于1，显微镜头为x50或x100倍。
1.2.4光谱范围：200nm到1100nm，全光谱范围内可快速连续扫描，无接谱。其中：
325nm激发波长，光谱范围：330-1100nm；
532nm激发波长，光谱范围：100-9000cm-1；
632.8nm激发波长，光谱范围：100-6000cm-1；
785nm激发波长，光谱范围：100-3500cm-1。
1.2.5光谱分辨率：好于1cm-1。检验标准：使用氖灯作为信号源，大于等于1800线高分辨光栅，测试17086ABScm-1发光线，其半高全宽小于1波数（FWHM<1cm-1）。
1.2.6光栅使用1200（NIR）、1800（Vis）、2400（UV）刻线/毫米高分辨率光栅，并能软件控制自动转换。并能实现光栅连续转动的全谱扫描方式，保证高分辨率下的无接谱。
1.2.7光谱重复性：<±0.05cm-1。采用光栅尺反馈控制系统控制光栅的精确定位和重复性。检验标准：使用表面抛光的单晶硅做样品，采用50×物镜，1800刻线/毫米光栅，扫描范围100～4000cm-1，重复50次。观测硅拉曼峰（520cm-1），520峰中心位置重复性<±0.05cm-1。光栅不转动时（静态取谱），520峰中心位置重复性<±0.02cm-1。
1.3共焦技术
1.3.1采用新型数字化针孔真共焦显微技术（数字化控制狭缝和CCD区域），以避免仪器的不稳定性和复杂的光路调整。
1.3.2软件控制自动调整狭缝大小，在10-2000um范围内连续可调。
1.3.3*在x100倍镜头下，空间分辨率<=0.4微米，共聚焦深度剖析分辨率<=1.5微米，共焦深度连续可调。检测条件：
空间分辨率：使用表面抛光的单晶硅锐利边缘做样品，在共焦条件下，采用100×物镜，沿垂直于锐利边缘的方向由单晶硅表面扫描至单晶硅外，步长为0.1um，将扫描所得到所有硅拉曼峰进行拟合，得到硅峰信号强度的变化曲线。Si强度变化的带边宽度即空间分辨率应<0.4微米
共聚焦深度剖析分辨率：使用表面抛光的单晶硅做样品，在共焦条件下，采用100×物镜，沿垂直于单晶硅平面方向，由单晶硅表面上方扫描至单晶硅内部，步长为0.1um，将扫描所得到所有硅拉曼峰进行拟合，得到硅峰信号强度的变化曲线，硅520cm-1峰的强度形成的曲线的半高宽即共聚焦深度剖析分辨率<1.5微米
1.4共焦显微镜
1.4.1*高稳定性研究级进口徕卡原装显微镜；
1.4.210X原装目镜，5X、20X、100X、50X长焦物镜；
1.4.3显微镜厂家原装透射和反射柯勒照明；
1.4.4彩色摄像头，可在计算机上显示存储图像。
1.5计算机与打印机
1.6全套软件包。包含快速数据采集、处理等功能模块。内置扫描控制及数据处理软件，可方便快速地处理数据，并基于以下指标实时进行数据分析和成像：
某一个拉曼信号的强度
拉曼信号特定范围强度的综合信息
成分含量分布信息高分辨图象

2.附件　
2.1配置带光栅尺反馈控制系统的xyz三维自动平台
2.1.1*XYZ自动平台，扫描范围：X>100毫米，Y>70毫米。
2.1.2最小步长为0.1微米。
2.1.3带手动操作杆，可软件自动控制驱动。
2.1.4可对样品测量部位自动定位并进行拉曼成像，进行分散的多点、线、面扫描和共焦深度的扫描成像，
2.1.5*采用光栅尺反馈控制系统自动控制克服反向间隙，保证原始点的重复性。
2.1.6用软件可连接摄像头采集图像，扩展了显微镜的视场，也可使自动平台的扫描区域扩大。
2.1.7包括Z轴自动聚焦硬件及软件。
2.2大面积（大体积）快速扫描成像附件
2.2.1不同波长自动控制切换的点聚焦组件，和自动聚焦的信号收集透镜组。适用于325nm、532nm、632.8nm、785nm激发波长。
2.2.2多变量化学统计数据分析软件包。
2.2.3*超快速拉曼成像，可达1000张谱图/秒。
2.2.4*能实现样品的三维实体（不同深度）拉曼扫描成像（3Dmapping）。