仪器生产商：Durham Magneto Optics Ltd

资产编号：2111453S

资产负责人：莫小明

购置日期：2021-12-16

仪器价格：860000 元

仪器产地：英国

分类号：

出厂日期：2021-12-16

主要规格及技术指标：

1. 采用激光直写技术，在感光层上形成精细结构；
2. * 加工区域不小于100X100 mm；
3. ▲位移台寻址精度优于500nm，位移精度优于200nm；
4. *.标准直写分辨率1.0 μm，最高直写速度优于10 mm2/min@1 μm；
5. 405nm长寿命（10000h）高功率LED光源，功率大于1W
6. 自动对焦技术，寻找样品表面功能；
7. * 占地面积小于1 m x 1m；

主要功能及特色：

MicrowriterML3是一款台式激光图形发生器，可以为微流控、SAW、半导体、自旋电子学等研究领域提供方便高效的微加工方案。具有结构小巧紧凑(70X70X70cm3)，无掩模直写的灵活性，还拥有高直写速度，高分辨率的特点。采用集成化设计，全自动控制，可靠性高，操作简便。

主要附件及配置：

1、台式激光图形发生器 一套

2、计费信息：校外190元/小时，校内150元/每小时，院内100元/小时。